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日本HORIBA/SEC-E40質(zhì)量流量控制器主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)重點(diǎn)關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類、流量進(jìn)行大量生產(chǎn)、實(shí)現(xiàn)了大幅度的成本降低。適合于定流量、長時(shí)間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場合，同樣適用于研究所的簡易流量控制。